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氮化硅薄膜的制備方法(Si3N4)

文章來源 : 齊岳生物

作者:zhn

發(fā)布時間 : 2022-08-23 12:41:44

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產(chǎn)品名稱:氮化硅薄膜的制備方法(Si3N4)

產(chǎn)品描述:

氮化硅薄膜的制備方法(Si3N4)1.物相沉積(PVD)法磁控反應濺射(Magnetron Sputting>法、離子束沉積(IBED)法2.化學氣相沉積(CVD)法熱化學氣相沉積(HCVD)法、光化學氣相沉積(PCVD)法除此之外,還有常壓熱化學氣相沉積(APTCVD)法、快熱化學氣相沉積(RTCVD)法、電子回旋共振CVD (ECRCVD)、催化CVD法(Cat-CVD)、混合激發(fā)CVD法(HECVD)等等。3.直接氮化法NH3高溫氮化、等離子體氮化、離子束氮化、激光輔助氮化西安齊岳生物科技有限公司是一家從事糖產(chǎn)品、科研試劑、多肽、石墨烯、石墨炔(graphyne)發(fā)光材料、金屬配合物發(fā)光材料、光電材料、MAX相陶瓷,碳納米管、原料藥、納米材料、鈣鈦礦、脂質(zhì)體、合成磷脂的、定制合成、生產(chǎn)和銷售的生物科技有限公司。齊岳供應產(chǎn)品:氮化硅/碳纖維/環(huán)氧樹脂導熱復合材料(SiN/CF/EP)多層與單層納米管(MWCNTs、SWCNTsBAS/Si3N4復合材料SiAlON陶瓷BAS/SiC復合材料Si3N4/BAS陶瓷復合材料SiC(w)/SiN復合材料Si3N4-Al2O3-Y2O3-MgO復合物碳化硅/氮化硅/聚丙烯復合材料Si3N4/SiC/PP復合材料碳納米管-氮化硅改性聚丙烯復合材料Si3N4-BN氮化硅-氮化硼系復合材料α-Si3N4(w)/RBSN復合材料β-SiC(w)/RBSN復合材料β-Si3N4(w)/Si3N4復合材料β-SiC(w)/Si3N4復合材料金屬鎳-氮化硅陶瓷復合材料硅硼氧氮纖維/氮化硅陶瓷復合材料硅@氮化硅@碳核殼結(jié)構(gòu)復合材料Si@Si3N4@C核殼結(jié)構(gòu)復合材料碳包覆氮化碳/硅-氮化硅/二氧化硅復合材料導電氮化鈦/氮化硅納米復合材料氮化硅/氮化鈦納米復合材料亞微米級硅顆粒/氮化硅/碳復合材料氮化硅/聚對苯二甲酸酯納米復合材料Ni金屬膜覆蓋Si3N4襯底生長濃度可控石墨烯材料CrN/Si3N4納米多層膜Si3N4襯底表面上的納米級Au薄膜硅襯底上制備了si3N4薄膜銻化銦襯底上生長Si3N4和SiO2雙層介質(zhì)膜硅襯底上直接合成了Si3N4/SiO2同軸納米線不同基底偏壓條件下CrN/Si3N4納米多層膜藍寶石和硅襯底上氮化硅(Si3N4)薄膜藍寶石襯底上Si3N4膜Si3N4襯底上TST薄膜Si的納米顆粒在Si3N4/Si(111)和Si3N4/Si(100)表面生長薄膜Si3N4/Si襯底上淀積55nm氧化釩薄膜Al的Si3N4納米線石英玻璃襯底上沉積平凸形Si3N4球面介質(zhì)膜Si3N4襯底上制備V2O5/V/V2O5復合薄膜zl 03.24 相關目錄: 黑色TiO2反蛋白石結(jié)構(gòu)的制備 二維金屬有機單層(MOL)的定制合成

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