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適用范圍較廣的正性/負性電子束光刻膠
文章來源 : 齊岳生物
作者:zhn
發布時間 : 2022-08-23 12:41:44
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產品名稱:適用范圍較廣的正性/負性電子束光刻膠
產品描述:
適用范圍較廣的正性/負性電子束光刻膠 電子束光刻膠 型號 光源 類型 分辨率 厚度(um) 適用范圍 SU-8 GM1010 電子束 負性 100nm 0.1-0.2 可用于做高寬比較大的納米結構。 HSQ 電子束 負性 6nm 30nm~180nm 分辨率較好的光刻膠,抗刻蝕。 XR-1541-002/004/006 HSQ Fox-15/16 電子束 負性 100nm 350nm~810nm 分辨率較好的光刻膠,抗刻蝕。 PMMA(國產) 電子束 正性 \ \ 高分辨率,適用于電子束光刻工藝,較常用的電子束光刻正膠。 PMMA() 電子束 正性 \ \ MicroChem,分子量,適用于電子束光刻工藝,較常用的電子束光刻正膠。 ? 光刻膠是光刻成像的承載介質,其作用是利用光化學反應的原理將光刻系統中經過衍射、濾波后的光信息轉化為化學能量,進而完成掩模圖形的復制。目前,集成電路生產中使用的光刻膠一般由聚合物骨架、光致酸產生劑或光敏化合物、溶劑,以及顯影保護基團、刻蝕保護基團等其他輔助成分組成 。 光刻膠是微電子中微細圖形加工的關鍵材料之一,是近年來大規模和大規模集成電路的發展,更是大大了光刻膠的研究研究和應用。印刷工業是光刻膠應用的另一重要領域。1954 年由明斯克等人較貴先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯是用于印刷工業的,以后才用于電子工業。 光刻膠是一種有機化合物,它被紫外光曝光后,在顯影溶液中的溶解度會發生變化。硅片制造中所用的光刻膠以液態涂在硅片表面,而后被干燥成膠膜。 中文名:光刻膠 外文名:photoresist 別名:光致抗蝕劑 成分:感光樹脂、增感劑和溶劑 分類:負性膠和正性膠 硅片制造中,光刻膠的目的主要有兩個:光刻膠原理,小孔成像;源頭,古老的相機; (1)將掩模版圖形轉移到硅片表面頂層的光刻膠中; (2)在后續工藝中,保護下面的材料(例如刻蝕或離子注入阻擋層)。 分類: 光刻膠的復雜,品種較多。根據其化學反應機理和顯影原理,可分負性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質的是負性膠;反之,對某些溶劑是不可溶的,經光照后變成可溶物質的即為正性膠。 ? 利用這種性能,將光刻膠作涂層,能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形?;诟泄鈽渲幕瘜W結構,光刻膠可以分為三種類型。 光聚合型 采用烯類單體,在光作用下生成自由基,自由基再進一步引發單體聚合,后生成聚合物,具有形成正像的特點。 光分解型 采用含有疊氮醌類化合物的材料,經光照后,會發生光分解反應,由油溶性變為水溶性,可以制成正性膠。 光交聯型 采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開,并使鏈與鏈之間發生交聯,形成一種不溶性的網狀結構,而起到抗蝕作用,這是一種的負性光刻膠??逻_公司的產品KPR膠即屬此類。 ? 含硅光刻膠 為了避免光刻膠線條的倒塌,線寬越小的光刻工藝,要求光刻膠的厚度越薄。 在20nm節點,光刻膠的厚度已經減少到了100nm左右。但是薄光刻膠不能的阻擋等離子體對襯底的刻蝕 。為此,了含Si的光刻膠,這種含Si光刻膠被旋涂在一層較厚的聚合物材料(常被稱作Underlayer),其對光是不敏感的。曝光顯影后,利用氧等離子體刻蝕,把光刻膠上的圖形轉移到Underlayer上,在氧等離子體刻蝕條件下,含Si的光刻膠刻蝕速率遠小于Underlayer,具有較高的刻蝕選擇性 。 含有Si的光刻膠是使用分子結構中有Si的有機材料合成的,例如硅氧烷,硅烷,含Si的丙烯酸樹脂等 。 產品供應: ? 產品名稱 cas 1-丙烯酸金剛烷酯 121601-93-2 1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8 丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3 4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2 1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯 216581-76-9 2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 249562-06-9 2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯 303186-14-3 1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9 2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7 甲基丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ 34759-34-7 2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯 297156-50-4 2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 251564-67-7 gamma-丁內酯-3-基異丁烯酸酯 130224-95-2 N-異丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6 (9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1 (5-氧代四氫-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9 1-乙基環戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1 1-異丙基-1-環己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4 2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯 31480-93-0 n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5 2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5 甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9 2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1 2-乙烯基萘 827-54-3 2-環己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8 2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯 195000-66-9 丙烯酸甲基環戊酯 178889-49-1 丙烯酸1-乙基環戊酯 326925-69-3 2-氧代四氫-呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2 4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9 4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0 甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3 3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7 acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0 1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0 1-甲基環己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8 2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7 2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8 1-甲基環戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7 1-乙基環己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8 4-異丙基苯酚 4286-23-1 (2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5 乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1 2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2 1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6 甲基丙烯酸四氫-呋喃-2-基酯 15895-80-4 oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0 6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7 3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1 2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8 2,3-二羥基丙烯酸丙酯 10095-20-2 2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環氧乙烷 2653-39-6 3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3 2-(2,2-二氟乙烯基)雙環[2.2.1]庚烷 123455-94-7 二苯基酰氯 1483-72-3 雙[4-(1,1-二甲基乙基)苯基]鎓與三氟甲磺酸的鹽 84563-54-2 全氟丁基磺酸三苯基锍鹽 144317-44-2 雙(4-叔丁基苯基)氯化鎓 5421-53-4 TBPDPS-PFBS 258872-05-8 1二(4-叔丁基苯基)鎓全氟代丁烷磺酸鹽 194999-85-4 (4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0 N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 85342-62-7 六氟二酐(6FDA) 1107-00-2 9,9-雙(3-氟-4-氨基苯基)芴?(FFDA) 127926-65-2 9,9-雙(4-氨基苯基)芴 (FDA) 15499-84-0 4,4’-二氨基-2,2’-二甲基聯苯?(M-Tolidine) 84-67-3 2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基)?六氟丙烷 83558-87-6 1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯?(APB) 10526-07-5 4,4'-雙(4-氨苯氧基)聯苯(BAPB) 13080-85-8 1,3-雙(4-氨苯氧基)苯 2479-46-1 4,4-二氨基聯苯-2,2-二羧酸 17557-76-5 2,2'-雙(三氟甲基)-4,4'-二氨基苯基醚 344-48-9 ODA 4,4'-二氨基二苯醚 101-80-4 BAPP 2,2'-雙[4-(4-氨基苯氧基苯基)]丙烷 13080-86-9 TPE-Q 1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯 3491/12/1 BPADA 雙酚A型二醚二酐 38103-06-9 BTDA 3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐 2421-28-5 BPDA 3,3',4,4'-聯苯四羧酸二酐 2420-87-3 CBDA 環丁烷四甲酸二酐 4415-87-6 DABA 3,5-二氨基苯甲酸 535-87-5 TFMB 2,2'-雙(三氟甲基)二氨基聯苯 341-58-2 A-BPDA 2,3,3',4'-聯苯四甲酸二酐 36978-41-3 BOAFL 9,9-二[(2,3-環氧丙氧基)苯基]芴 47758-37-2 TCA 四氫-1H-5,9-甲烷吡喃并[3,4-d]噁英-1,3,6,8(4H)-四酮 6053-46-9 ODPA 4,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 1823-59-2 A-ODPA 3,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 50662-95-8 HFBAPP 2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 69563-88-8 4-溴-N-苯基咔唑 1097884-37-1 3,6-二溴-9-(2-乙基己基)-9h-咔唑 173063-52-0 N-(2-萘基)-3-溴咔唑 934545-80-9 1-溴-N-苯基咔唑 1333002-37-1 3,6-二叔丁基咔唑 37500-95-1 3,6-二溴咔唑 6825-20-3 1-溴咔唑 16807-11-7 2-溴咔唑 3652-90-2 2-氯咔唑 10537-08-3 2-羥基咔唑 86-79-3 3-溴咔唑 1592-95-6 3,6-二苯基-9H-咔唑 56525-79-2 4-溴-9H-咔唑 3652-89-9 3-苯基-9H-咔唑 103012-26-6 11,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-a]咔唑 1329054-41-2 9-(4-溴苯基)咔唑 57102-42-8 10-溴-7H-苯并[c]咔唑 1698-16-4 9-(3-溴苯基)-9H-咔唑 185112-61-2 9-(2-溴苯基)-9H-咔唑 902518-11-0 3-溴-N-苯基咔唑 1153-85-1 3,6-二溴-9-苯基咔唑 57103-20-5 3--9-苯基咔唑 502161-03-7 9-(1-萘基)-3-溴咔唑 934545-83-2 3-(4-溴苯基)-9-苯基-9H-咔唑 1028647-93-9 2-溴-9-苯基-9H-咔唑 94994-62-4 2-(2-氯-苯-基)-1H-苯并咪唑 3574-96-7 3,3'-聯咔唑 1984-49-2 3,9'-聯咔唑 18628-07-4 吲哚并[3,2-b]咔唑 241-55-4 吲哚并[3,2-b]咔唑 6336-32-9 5,11-二氫-11,11-二甲基茚并[1,2-b]咔唑 1260228-95-2 5,7-二氫-7,7-二甲基-茚并[2,1-b]咔唑 1257220-47-5 9-(4'-溴聯苯-4-基)-9H-咔唑 212385-73-4 4,4'-二(9-咔唑)聯苯 58328-31-7 5,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-c]咔唑 1346645-54-2 5,7-二氫-吲哚并[2,3-b]咔唑 111296-90-3 吲哚并[2,3-a]咔唑 60511-85-5 9H-咔唑-3-硼酸頻哪醇酯 855738-89-5 9-(4-苯基苯基)咔唑 6299-16-7 14H-苯并[c]苯并[4,5]噻吩并[2,3-a]咔唑 1313395-18-4 9-(2-萘基)-3,6-二溴咔唑 1221237-83-7 2,7-二溴咔唑 36630-39-2 2-苯基-9H-咔唑 88590-00-5 咔唑 86-74-8 9H-咔唑-3,6-二甲腈 57103-03-4 3,6-二咔唑 57103-02-3 3-氰基咔唑 57102-93-9 9,9'-二([1,1'-聯苯]-4-基)-3,3'-聯-9H-咔唑 57102-51-9 3-氯咔唑 2732-25-4 N-(3-聯苯基)-N-(4-聯苯基)-3,3-雙咔唑 1643479-47-3 5,7-二氫-5-苯基吲哚[2,3-b]咔唑 1448296-00-1 9'-苯基-9H,9H'-3,3'-咔唑 1060735-14-9 3,6-二乙氧基咔唑 1707264-12-7 9-苯基-9H,9H-3,3-咔唑 10607435-14-9 9-乙烯卡唑 1484-13-5 上述產品齊岳生物均可供應! wyf 01.25 相關目錄: 半導體光刻膠/LCD 光刻膠/PCB 光刻膠- 紅細胞包裹多孔聚乳酸-羥基乙酸PLGA共聯系我們:
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主營產品:COF、MOF單體系列:三蝶烯衍生物、金剛烷衍生物、四苯甲烷衍生物、peg、上轉換、石墨烯、光電材料、點擊化學、凝集素、載玻片、蛋白質交聯劑、脂質體、蛋白、多肽、氨基酸、糖化學等。
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